منصة الجرانيت، كأداة مرجعية للقياس والمعالجة الدقيقة، تؤثر صيانة دقتها بشكل مباشر على جودة الإنتاج. فيما يلي خطة صيانة منهجية تشمل التحكم البيئي والصيانة اليومية والمعايرة الاحترافية لضمان حفاظ المنصة على دقة النانومتر لفترة طويلة.
1. التحكم البيئي: بناء حاجز حماية دقيق
إدارة درجة الحرارة والرطوبة
يجب تثبيت درجة حرارة بيئة العمل عند ٢٠±١ درجة مئوية. كل تقلب بمقدار درجة مئوية واحدة يُسبب تشوهًا حراريًا لمنصة الجرانيت يتراوح بين ٠.٥ و١ ميكرومتر. يمكن تركيب نظام درجة حرارة ثابتة في الورشة لمنع هبوب هواء التكييف مباشرةً على المنصة.
يجب ضبط الرطوبة بين ٤٠٪ و٦٠٪. الرطوبة الزائدة قد تُسبب صدأً للأجزاء المعدنية بسهولة، بينما قد تُسبب الرطوبة المنخفضة جدًا تداخلًا مع الكهرباء الساكنة أثناء القياس.
عزل الاهتزاز
يجب إبعاد المنصة عن مصادر الاهتزاز، مثل آلات الختم والطحن. يُنصح بالحفاظ على مسافة لا تقل عن 3 أمتار من معدات الاهتزاز.
إذا لم يكن من الممكن تجنب الاهتزاز، فيمكن تركيب ممتصات صدمات زنبركية هوائية في الجزء السفلي من المنصة لتقليل تأثير الاهتزاز البيئي على تسطيح المنصة (مما يمكن أن يقلل الاهتزاز الخارجي بنسبة تزيد عن 80%).
2. الصيانة اليومية: مراقبة دقيقة من التنظيف إلى الحماية
مواصفات تنظيف السطح
إزالة الغبار: امسح السطح بقطعة قماش خالية من الوبر بجلد الغزال أو بقطعة قماش خالية من الوبر في نفس الاتجاه يوميًا لمنع جزيئات الغبار (≥5 ميكرومتر) من خدش المنصة. يمكن مسح البقع الصعبة برفق باستخدام الإيثانول اللامائي (بدرجة نقاء ≥99.7%). يُمنع استخدام المذيبات القوية مثل الأسيتون.
إزالة الشحوم: في حالة ملامستها لبقع الزيت، امسحها بمنظف محايد مخفف، ثم اشطفها بالماء منزوع الأيونات وجففها بالهواء لمنع الزيت المعدني من اختراق المسام الصغيرة للمنصة.
حماية من الحمل والاصطدام
يجب التحكم في قدرة تحمل المنصة في حدود 70% من الحمل المقدر (على سبيل المثال، بالنسبة لمنصة 1000 كجم، يوصى بأن يكون الحمل ≤700 كجم) لتجنب التشوه الدائم الناجم عن التحميل الزائد المحلي.
يُمنع منعًا باتًا ضرب قطع العمل على المنصة. عند استخدام الأدوات، ارتدِ قفازات ناعمة لمنع خدش السطح بالأشياء الحادة (الخدوش التي يزيد عمقها عن 20 ميكرومترًا ستؤثر على قياس مسار الضوء المنعكس).
3. المعايرة المهنية: جوهر الحفاظ على الدقة علميًا
إعداد دورة المعايرة
سيناريوهات الاستخدام التقليدية: قم بالمعايرة مرة كل ربع سنة واستخدم مقياس التداخل بالليزر لاكتشاف التسطيح (بدقة ±0.5 ميكرومتر/متر).
الاستخدام عالي التردد أو البيئات القاسية: معايرة شهرية، مع التركيز على مراقبة المناطق الحساسة لدرجة الحرارة (مثل حافة المنصة بالقرب من مصادر الحرارة).
معالجة ما بعد المعايرة
في حال وجود انحراف في الاستواء (مثل > ±1 ميكرومتر/متر)، يجب تجليخه وإصلاحه بواسطة فني متخصص باستخدام مسحوق ميكروي W1.5. يُمنع منعًا باتًا استخدام ورق الصنفرة لطحنه ذاتيًا.
بعد المعايرة، يجب تسجيل البيانات وأرشفتها، ويجب إنشاء منحنى تخفيف دقة المنصة للتنبؤ بمتطلبات الصيانة مسبقًا.
4. التخزين والنقل: تجنب فقدان الدقة المخفية
نقاط رئيسية للتخزين طويل الأمد
عند التخزين، يجب تغطيتها بغطاء مقاوم للرطوبة والغبار. يجب دعم الجزء السفلي بثلاث نقاط (نقطة الدعم تقع على بُعد 2/9 من طول المنصة) لمنع تشوه الانحناء الناتج عن الجاذبية (قد تتدلى منصة بطول متر واحد بمقدار 0.3 ميكرومتر بسبب الدعم طويل الأمد بنقطة دعم واحدة).
قم بتحريك موضع نقاط دعم المنصة بشكل منتظم (شهريًا) لتجنب الضغط المحلي طويل الأمد.
خطة حماية النقل
النقل لمسافات قصيرة: لفها برغوة ممتصة للصدمات، وثبّتها داخل إطار صلب، مع الحفاظ على التسارع في حدود 2 جرام.
النقل لمسافات طويلة: يجب تعبئتها بالنيتروجين الجاف وتفريغها من الهواء. بعد الوصول، يُترك لمدة ٢٤ ساعة حتى تصل درجة الحرارة إلى درجة التوازن قبل فكّها، وذلك لمنع تأثير مياه التكثيف على دقة القياس.
5. التنبؤ بالأخطاء: تقنيات لتحديد المشكلات المبكرة
الفحص البصري: راقب السطح بانتظام باستخدام عدسة مكبرة 40x. إذا وجدت خدوشًا مستمرة أو انخفاضًا ملحوظًا في اللمعان، فقد يشير ذلك إلى انخفاض في الدقة.
كشف الصوت: انقر على المنصة برفق. إذا أصبح الصوت أجشًا (عادةً ما يكون واضحًا)، فقد تكون هناك شقوق دقيقة في الداخل. توقف عن استخدامه فورًا للكشف.
بفضل نظام الصيانة هذا، تحافظ منصة الجرانيت ZHHIMG® على استواء ±1 ميكرومتر/متر لمدة 10 سنوات، أي أكثر من ثلاثة أضعاف عمر دقة المنصات التي لا تخضع للصيانة المناسبة. وقد أثبتت التجربة أنه بعد اعتماد أحد مصانع أشباه الموصلات لهذا الحل، انخفض معدل معايرة المنصة بنسبة 50%، ووفر أكثر من 150,000 يوان من تكلفة الصيانة السنوية.
وقت النشر: ١٨ يونيو ٢٠٢٥