تُعدّ المنصة الجرانيتية أداة مرجعية للقياس والمعالجة الدقيقة، ويؤثر الحفاظ على دقتها بشكل مباشر على جودة الإنتاج. فيما يلي خطة صيانة منهجية تشمل التحكم البيئي والصيانة اليومية والمعايرة الاحترافية لضمان الحفاظ على دقة المنصة على مستوى النانومتر لفترة طويلة.
1. التحكم البيئي: بناء حاجز حماية دقيق
إدارة درجة الحرارة والرطوبة
يجب تثبيت درجة حرارة بيئة العمل عند 20±1 درجة مئوية. كل تذبذب بمقدار درجة مئوية واحدة سيؤدي إلى تشوه حراري في منصة الجرانيت بمقدار 0.5-1 ميكرومتر/متر. يمكن تركيب نظام تحكم بدرجة الحرارة في الورشة لمنع توجيه هواء التكييف مباشرةً إلى المنصة.
يجب ضبط نسبة الرطوبة بين 40% و60%. فالرطوبة الزائدة قد تتسبب بسهولة في صدأ الأجزاء المعدنية، بينما قد تؤدي الرطوبة المنخفضة جدًا إلى تداخل الكهرباء الساكنة في القياس.
عزل الاهتزازات
يجب إبعاد المنصة عن مصادر الاهتزاز مثل آلات التشكيل وآلات الطحن. يُنصح بالحفاظ على مسافة تزيد عن 3 أمتار من معدات الاهتزاز.
إذا تعذر تجنب الاهتزاز، فيمكن تركيب ممتصات الصدمات الهوائية في الجزء السفلي من المنصة لتقليل تأثير الاهتزاز البيئي على استواء المنصة (مما يمكن أن يقلل الاهتزاز الخارجي بأكثر من 80٪).
2. الصيانة اليومية: تحكم دقيق من التنظيف إلى الحماية
مواصفات تنظيف الأسطح
إزالة الغبار: امسح السطح بقطعة قماش ناعمة أو قطعة قماش خالية من الوبر في نفس الاتجاه يوميًا لمنع جزيئات الغبار (≥ 5 ميكرومتر) من خدش السطح. يمكن مسح البقع الصعبة برفق باستخدام الإيثانول اللامائي (نقاء ≥ 99.7%). يجب عدم استخدام المذيبات القوية مثل الأسيتون.
إزالة الشحوم: في حالة ملامسته لبقع الزيت، امسحه بمنظف متعادل مخفف، ثم اشطفه بالماء منزوع الأيونات واتركه يجف في الهواء لمنع الزيت المعدني من اختراق المسام الصغيرة للمنصة.
حماية الحمولة والتصادم
ينبغي التحكم في قدرة تحمل المنصة في حدود 70٪ من الحمل المقنن (على سبيل المثال، بالنسبة لمنصة وزنها 1000 كجم، يوصى بأن يكون الحمل ≤700 كجم) لتجنب التشوه الدائم الناتج عن الحمل الزائد الموضعي.
يُمنع منعاً باتاً ضرب قطع العمل على المنصة. عند استخدام الأدوات، ارتدِ قفازات ناعمة لمنع الأجسام الحادة من خدش السطح (الخدوش التي يزيد عمقها عن 20 ميكرومتر ستؤثر على قياس مسار الضوء المنعكس).
3. المعايرة الاحترافية: جوهر الحفاظ على الدقة علمياً
ضبط دورة المعايرة
سيناريوهات الاستخدام التقليدية: المعايرة مرة واحدة كل ثلاثة أشهر واستخدام مقياس التداخل الليزري للكشف عن التسطيح (بدقة ±0.5 ميكرومتر/متر).
الاستخدام عالي التردد أو البيئات القاسية: معايرة شهرية، مع التركيز على مراقبة المناطق الحساسة لدرجة الحرارة (مثل حافة المنصة بالقرب من مصادر الحرارة).

معالجة ما بعد المعايرة
في حال وجود انحراف في مستوى السطح (مثل ±1 ميكرومتر/متر)، يجب صقله وإصلاحه بواسطة فني متخصص باستخدام مسحوق W1.5 الدقيق. يُمنع منعًا باتًا الصقل الذاتي باستخدام ورق الصنفرة.
بعد المعايرة، يجب تسجيل البيانات وأرشفتها، ويجب إنشاء منحنى توهين دقة المنصة للتنبؤ بمتطلبات الصيانة مسبقًا.
4. التخزين والنقل: تجنب فقدان الدقة الخفي
النقاط الرئيسية للتخزين طويل الأجل
عند التخزين، يجب تغطيتها بغطاء مقاوم للرطوبة والغبار. يجب دعم الجزء السفلي بثلاث نقاط (تقع نقطة الدعم عند 2/9 من طول المنصة) لمنع الانحناء الناتج عن الجاذبية (قد تترهل منصة بطول متر واحد بمقدار 0.3 ميكرومتر نتيجة الدعم بنقطة واحدة لفترة طويلة).
قم بتغيير موقع نقاط دعم المنصة بانتظام (شهريًا) لتجنب الضغط المحلي طويل الأمد.
خطة حماية النقل
النقل لمسافات قصيرة: قم بتغليفه برغوة ماصة للصدمات، وثبته داخل إطار صلب، وحافظ على التسارع في حدود 2g.
النقل لمسافات طويلة: يجب تغليفها بتفريغ الهواء وملؤها بالنيتروجين الجاف. بعد الوصول، يجب تركها لمدة 24 ساعة حتى تصل درجة الحرارة إلى حالة التوازن قبل فك التغليف لمنع تكثف الماء من التأثير على الدقة.
5. التنبؤ بالأعطال: تقنيات لتحديد المشاكل المبكرة
الفحص البصري: افحص السطح بانتظام باستخدام عدسة مكبرة 40x. إذا وُجدت خدوش مستمرة أو انخفاض ملحوظ في اللمعان، فقد يشير ذلك إلى تراجع في الدقة.
الكشف عن الصوت: انقر برفق على المنصة. إذا أصبح الصوت أجشًا (عادةً ما يكون واضحًا)، فقد تكون هناك شقوق دقيقة في الداخل. توقف عن استخدامها فورًا للكشف.
بفضل نظام الصيانة هذا، تحافظ منصة الجرانيت ZHHIMG® على استواء دقيق يصل إلى ±1 ميكرومتر/متر لمدة عشر سنوات، أي أكثر من ثلاثة أضعاف عمر المنصات الدقيقة التي لا تخضع للصيانة الدورية. وقد أثبتت التجارب العملية أنه بعد اعتماد أحد مصانع أشباه الموصلات لهذا الحل، انخفضت وتيرة معايرة المنصة بنسبة 50%، ووُفرت تكاليف الصيانة السنوية بأكثر من 150 ألف يوان.
تاريخ النشر: 18 يونيو 2025
