في مجالات التصنيع الدقيق والبحث العلمي، يُعدّ تسطيح منصات الجرانيت الدقيقة مؤشرًا رئيسيًا لضمان دقة المعدات. فيما يلي مقدمة مفصلة للعديد من طرق الكشف الشائعة وإجراءات تشغيلها.
I. طريقة الكشف باستخدام مقياس التداخل بالليزر
يُعدّ مقياس التداخل الليزري الأداة المُفضّلة للكشف عن التسطح بدقة عالية. لنأخذ مقياس التداخل الليزري ZYGO GPI XP كمثال، حيث تصل دقته إلى 0.1 نانومتر. عند إجراء الكشف، يُحاذي مصدر ضوء مقياس التداخل مع المنصة، ويُقسّم سطح المنصة إلى مناطق شبكية بأبعاد 50 مم × 50 مم. بعد ذلك، تُجمع بيانات هامش التداخل نقطةً بنقطة، وتُعدّل وتُحلّل باستخدام مُتعددة حدود زيرنيك للحصول على خطأ التسطح. تُطبّق هذه الطريقة على المنصات عالية الدقة، ويمكنها الكشف عن أخطاء تسطح ≤0.5 ميكرومتر/متر مربع. وتُستخدم عادةً في الكشف عن آلات الطباعة الضوئية ومنصات آلات القياس ثلاثية الإحداثيات المتطورة.
II. طريقة مصفوفة المستويات الإلكترونية
يتميز نظام كشف مصفوفة المستويات الإلكترونية بسهولة التشغيل وفعاليته العالية. تم اختيار ميزان TESA A2 الإلكتروني (بدقة 0.01 ميكرومتر/متر) وترتيبه في مصفوفة 9×9 على طول المحورين X/Y للمنصة. من خلال جمع بيانات ميل كل مستوى بشكل متزامن، ثم استخدام طريقة المربعات الصغرى للحساب، يمكن الحصول على قيمة الاستواء بدقة. تُمكّن هذه الطريقة من تحديد ظروف التقعر والتحدب المحلية للمنصة بفعالية. على سبيل المثال، يمكن أيضًا الكشف عن تقلب قدره 0.2 ميكرومتر ضمن نطاق 50 مم، وهو مناسب للكشف السريع في الإنتاج الضخم.
ثالثًا: طريقة البلورة الضوئية المسطحة
طريقة البلورة الضوئية المسطحة مناسبة للكشف عن منصات المساحات الصغيرة. ثبّت البلورة الضوئية المسطحة بإحكام على السطح المراد اختباره على المنصة، ولاحظ أهداب التداخل المتكونة بينهما تحت إضاءة مصدر ضوء أحادي اللون (مثل مصباح الصوديوم). إذا كانت الخطوط خطوطًا مستقيمة متوازية، فهذا يدل على استواء جيد. إذا ظهرت خطوط منحنية، فاحسب خطأ الاستواء بناءً على درجة انحناء الشريط. يمثل كل شريط منحني فرق ارتفاع قدره 0.316 ميكرومتر، ويمكن الحصول على بيانات الاستواء بتحويل بسيط.
أربعة. طريقة فحص آلة القياس ثلاثية الإحداثيات
يمكن لجهاز القياس ثلاثي الإحداثيات تحقيق قياسات عالية الدقة في الفضاء ثلاثي الأبعاد. ضع منصة الجرانيت على طاولة عمل جهاز القياس، واستخدم المسبار لجمع البيانات بشكل موحد من نقاط قياس متعددة على سطح المنصة. يعالج نظام جهاز القياس هذه البيانات ويحللها لإنشاء تقرير استواء المنصة. لا تقتصر هذه الطريقة على كشف الاستواء فحسب، بل تشمل أيضًا الحصول على معلمات هندسية أخرى للمنصة في آن واحد، وهي مناسبة للكشف الشامل عن منصات الجرانيت الكبيرة.
إن إتقان طرق الكشف هذه يمكن أن يساعدك في تقييم تسطيح منصة الدقة الجرانيتية بشكل دقيق وتوفير ضمان موثوق به للتشغيل المستقر لمعدات الدقة.
وقت النشر: ٢٩ مايو ٢٠٢٥