في ورشة تصنيع أشباه الموصلات، تكون متطلبات عملية تصنيع الرقائق من حيث الظروف البيئية ودقة المعدات شديدة، وأي انحراف طفيف قد يؤدي إلى انخفاض كبير في إنتاج الرقاقة. تعتمد منصة الحركة الجسرية الدقيقة XYZT على مكونات الجرانيت للتعاون مع أجزاء أخرى من المنصة لبناء أساس متين لتحقيق دقة النانو.
خصائص ممتازة لمنع الاهتزاز
في ورشة تصنيع أشباه الموصلات، قد يُسبب تشغيل المعدات الطرفية وحركة الموظفين اهتزازات. يتميز الهيكل الداخلي لمكونات الجرانيت بكثافة وتجانس، مع خصائص تخميد طبيعية عالية، ما يُمثل حاجزًا فعالًا للاهتزازات. عند انتقال الاهتزاز الخارجي إلى منصة XYZT، يُمكن لمكون الجرانيت تخفيف أكثر من 80% من طاقة الاهتزاز بفعالية، وتقليل تداخله مع دقة حركة المنصة. في الوقت نفسه، جُهزت المنصة بنظام توجيه هوائي عالي الدقة، يعمل بالتزامن مع مكونات الجرانيت. يستخدم نظام توجيه الهواء طبقة غازية مستقرة مُشكّلة من غاز عالي الضغط لتحقيق حركة تعليق سلسة للأجزاء المتحركة في المنصة، وتقليل الاهتزازات الطفيفة الناتجة عن الاحتكاك الميكانيكي. يضمن هذان النظامان معًا الحفاظ على دقة تحديد موضع المنصة عند مستوى النانومتر في العمليات الرئيسية، مثل طباعة الرقائق الحجرية والنقش، وتجنب انحراف أنماط دوائر الرقائق الناتجة عن الاهتزاز.
استقرار حراري ممتاز
يؤثر تقلب درجة الحرارة والرطوبة في الورشة بشكل كبير على دقة معدات تصنيع الرقائق. معامل التمدد الحراري للجرانيت منخفض جدًا، وعادةً ما يكون في حدود 5-7 ×10⁻⁶/℃، ويبقى حجمه ثابتًا تقريبًا عند تغير درجة الحرارة. حتى في حال تسبب فرق درجة الحرارة بين النهار والليل في الورشة أو إنتاج الحرارة للمعدات في تقلب درجة الحرارة المحيطة، يمكن لمكونات الجرانيت أن تظل مستقرة لمنع تشوه المنصة بسبب التمدد والانكماش الحراري. في الوقت نفسه، يراقب نظام التحكم الذكي في درجة الحرارة المجهز بالمنصة درجة الحرارة المحيطة في الوقت الفعلي، ويضبط تلقائيًا تكييف الهواء ومعدات تبديد الحرارة، ويحافظ على درجة حرارة الورشة عند 20 درجة مئوية ± 1 درجة مئوية. إلى جانب مزايا ثبات حرارة الجرانيت، يضمن أن المنصة في التشغيل طويل الأمد، ودقة حركة كل محور تلبي دائمًا معايير دقة النانومتر في تصنيع الرقائق، مما يضمن دقة حجم نمط الطباعة الحجرية للرقائق وتوحيد عمق النقش.
تلبية احتياجات البيئة النظيفة
يجب الحفاظ على درجة عالية من النظافة في ورشة تصنيع أشباه الموصلات لمنع تلوث الرقاقة بجزيئات الغبار. مادة الجرانيت نفسها لا تُنتج غبارًا، وسطحها أملس، ولا يمتص الغبار بسهولة. تعتمد المنصة ككل على تصميم هيكلي مغلق تمامًا أو شبه مغلق للحد من دخول الغبار الخارجي. يرتبط نظام تدوير الهواء الداخلي بنظام تكييف الهواء النظيف في الورشة لضمان وصول نظافة الهواء الداخلي إلى المستوى المطلوب لتصنيع الرقاقة. في هذه البيئة النظيفة، لن تتأثر مكونات الجرانيت بالأداء بسبب تآكل الغبار، كما تعمل المكونات الرئيسية، مثل أجهزة الاستشعار عالية الدقة والمحركات، بثبات، مما يوفر دقة نانوية مستمرة وموثوقة لتصنيع الرقاقة، ويساعد صناعة أشباه الموصلات على الارتقاء بمستوى العمليات.
وقت النشر: ١٤ أبريل ٢٠٢٥