في مجال تصنيع أشباه الموصلات، تعد الدقة دون الميكرون هي المفتاح لضمان أداء الشريحة، وأصبحت قاعدة الجرانيت (ZHHIMG®) بخصائصها المادية ومعالجتها الدقيقة وتصميمها المبتكر الضمانة الأساسية لتحقيق هذه الدقة.
من منظور خصائص المواد، يتميز الجرانيت الأسود الذي اختارته ZHHIMG® بكثافة تبلغ حوالي 3100 كجم/م³، مع بنية داخلية كثيفة. تمنحه هذه الكثافة العالية ثباتًا وصلابة فائقين. أثناء تشغيل معدات أشباه الموصلات، يُولّد دوران المحركات وحركة المكونات الميكانيكية داخل المعدات اهتزازات. تستطيع قاعدة الجرانيت امتصاص أكثر من 90% من طاقة الاهتزاز بفعالية، مما يُقلل بشكل كبير من تأثير الاهتزاز على دقة المعدات. وفي الوقت نفسه، يُمكّنها معامل التمدد الحراري المنخفض للغاية من الحفاظ على تشوهها ضمن نطاق صغير جدًا عند تقلبات درجة الحرارة المحيطة، مما يوفر قاعدة دعم ثابتة لمعدات أشباه الموصلات ويمنع إزاحة مكونات المعدات بسبب تغيرات درجة الحرارة، مما قد يؤثر على دقتها.
فيما يتعلق بالمعالجة والتصنيع، يعتمد مصنع ZHHIMG® على معدات معالجة متقدمة دولية، ويضم أربع آلات طحن فائقة الحجم (تبلغ تكلفة كل آلة أكثر من 500,000 دولار أمريكي)، قادرة على إجراء عمليات طحن عالية الدقة على الجرانيت. ومن خلال التصنيع باستخدام الحاسب الآلي ذي الوصلات الخمسة محاور، وعمليات أخرى، يمكن أن يصل تسطيح قاعدة الآلة إلى مستوى النانومتر، مما يوفر سطحًا مرجعيًا فائق التسطح لتركيب معدات أشباه الموصلات، ويضمن دقة وضع كل مكون من مكوناتها. علاوة على ذلك، توفر ورشة العمل ذات درجة الحرارة والرطوبة الثابتة (التي تغطي مساحة 10,000 متر مربع) بيئة مستقرة للمعالجة. وتعمل الخنادق المضادة للاهتزاز المحيطة بها، بعرض 500 مم وعمق 2000 مم، بالإضافة إلى الرافعات الصامتة، على عزل تداخل الاهتزاز الخارجي بفعالية، وضمان دقة معالجة قاعدة الآلة.
بالإضافة إلى ذلك، تتميز ZHHIMG® بإمكانية تخصيص عالية. لتلبية المتطلبات الخاصة لمعدات أشباه الموصلات، يمكن تصنيع فتحات تركيب دقيقة وصواني كابلات مسبقًا لتحقيق توافق مثالي بين المعدات والقاعدة. وفي الوقت نفسه، وباستخدام معدات قياس واختبار عالمية المستوى، مثل مقياس الدقائق الألماني Mahr (بدقة 0.5 ميكرومتر) وميزان WYLER الإلكتروني السويسري، تخضع قاعدة الآلة لفحص دقيق ومعايرتها لضمان استيفاء كل قاعدة للمتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات فيما يتعلق بدقة مستوى دون الميكرون.
إن الجمع بين هذه المزايا على وجه التحديد هو ما يجعل قاعدة الجرانيت ZHHIMG® خيارًا موثوقًا به لتحقيق دقة دون الميكرون في معدات أشباه الموصلات، مما يساعد تصنيع أشباه الموصلات على التحرك نحو مجالات ذات دقة أعلى.
وقت النشر: ١٨ يونيو ٢٠٢٥