استخدامات قاعدة الجرانيت: يتميز الجرانيت بخصائص فيزيائية مستقرة للغاية، وبنية داخلية كثيفة وموحدة، ومعامل تمدد حراري منخفض، وصلابة عالية. هذا يُمكّن القاعدة من عزل الاهتزازات الخارجية بفعالية، وتقليل تأثير تغيرات درجة الحرارة المحيطة على دقة المنصة، كما تتميز بمقاومة ممتازة للتآكل. مع الاستخدام طويل الأمد، يُمكن الحفاظ على أداء دعم مستقر، مما يوفر أساسًا متينًا لدقة المنصة.
تصميم هيكل ميكانيكي عالي الدقة: صُمم الهيكل الميكانيكي للمنصة بعناية فائقة، باستخدام قضبان توجيه عالية الدقة، ومسامير توجيه، ومحامل، ومكونات نقل أخرى. بفضل احتكاكها المنخفض وصلابتها العالية وإمكانية تكرار حركتها الجيدة، تنقل هذه المكونات الطاقة بدقة وتتحكم في حركة المنصة، مما يقلل من تراكم الأخطاء أثناء الحركة. على سبيل المثال، باستخدام قضبان توجيه هوائية، وطبقة هوائية لدعم حركة المنصة، دون احتكاك أو تآكل، ودقة عالية، يمكن تحقيق دقة تحديد المواقع على نطاق النانو.
تقنية عزل اهتزاز نشطة متطورة: مزودة بنظام عزل اهتزاز نشط، يراقب حالة اهتزاز المنصة في الوقت الفعلي عبر المستشعر، وبناءً على نتائج الرصد، يُتحكم في المشغل بتغذية راجعة، مما يُولّد قوة أو حركة معاكسة للاهتزاز الخارجي لتعويض تأثيره. تعزل هذه التقنية الاهتزازات عالية التردد ومنخفضة التردد بفعالية، مما يضمن استقرار المنصة في بيئات الاهتزاز المعقدة. على سبيل المثال، يتميز عازل الاهتزاز النشط الكهرومغناطيسي بسرعة استجابة عالية ودقة في التحكم، مما يُقلل سعة اهتزاز المنصة بأكثر من 80%.
نظام تحكم دقيق: تعتمد المنصة على أنظمة تحكم متطورة، مثل نظام التحكم القائم على معالج الإشارة الرقمية (DSP) أو مصفوفة البوابات القابلة للبرمجة ميدانيًا (FPGA)، مما يوفر حسابات عالية السرعة وتحكمًا دقيقًا. يراقب نظام التحكم حركة المنصة ويضبطها آنيًا باستخدام خوارزميات دقيقة، محققًا دقة عالية في التحكم بالموقع والسرعة والتسارع. كما يتميز النظام بقدرة ممتازة على مقاومة التداخل، ما يضمن استقرار العمل في البيئات الكهرومغناطيسية المعقدة.
قياسات عالية الدقة باستخدام أجهزة استشعار الإزاحة والزاوية وأجهزة القياس الأخرى، مما يُمكّن من قياس حركة المنصة بدقة آنية. تُرسل هذه الأجهزة بيانات القياس إلى نظام التحكم، الذي يُجري تعديلات وتعويضات دقيقة بناءً على بيانات التغذية الراجعة لضمان دقة حركة المنصة. على سبيل المثال، يُستخدم مقياس التداخل الليزري كمستشعر إزاحة، وتصل دقة قياسه إلى نانومتر، مما يوفر معلومات دقيقة عن الموقع للتحكم عالي الدقة في المنصة.
تقنية تعويض الأخطاء: من خلال نمذجة أخطاء المنصة وتحليلها، تُستخدم تقنية تعويض الأخطاء لتصحيحها. على سبيل المثال، يتم قياس وتعويض خطأ استقامة سكة التوجيه وخطأ ميل مسمار التوجيه لتحسين دقة حركة المنصة. بالإضافة إلى ذلك، يمكن استخدام خوارزميات برمجية لتعويض الأخطاء الناتجة عن تغيرات درجة الحرارة وتغيرات الحمل وعوامل أخرى آنيًا، مما يُحسّن دقة المنصة بشكل أكبر.
عملية تصنيع ومراقبة جودة صارمة: في عملية تصنيع المنصة، تُطبّق معايير صارمة في عملية التصنيع ومراقبة الجودة لضمان دقة المعالجة وجودة تجميع كل مكون. بدءًا من اختيار المواد الخام ووصولًا إلى معالجة وتجميع وتشغيل الأجزاء، تخضع كل وصلة لفحص واختبار دقيقين لضمان الدقة والأداء العام للمنصة. على سبيل المثال، تُجرى عمليات تشغيل عالية الدقة للأجزاء الرئيسية، وتُستخدم معدات متطورة مثل مراكز التصنيع باستخدام الحاسب الآلي لضمان استيفاء دقة الأبعاد وتفاوتات الشكل والموضع للأجزاء لمتطلبات التصميم.
وقت النشر: ١١ أبريل ٢٠٢٥