في مجالات مثل تصنيع أشباه الموصلات وأجهزة القياس الدقيقة، تُحدد دقة منصات الجرانيت الدقيقة جودة تشغيل المعدات بشكل مباشر. ولضمان مطابقة دقة المنصة للمعايير، ينبغي بذل جهود من جانبين: رصد المؤشرات الرئيسية والامتثال للمعايير القياسية.
كشف المؤشر الأساسي: التحكم متعدد الأبعاد في الدقة
اكتشاف التسطيح: تحديد "تسطيح" المستوى المرجعي
يُعدّ الاستواء المؤشرَ الأساسي لمنصات الجرانيت الدقيقة، ويُقاس عادةً باستخدام مقاييس تداخل الليزر أو المستويات الإلكترونية. يستطيع مقياس تداخل الليزر قياس التموجات الدقيقة على سطح المنصة بدقة عالية من خلال إصدار شعاع ليزر، مُستخدمًا مبدأ تداخل الضوء، بدقة تصل إلى مستوى دون الميكرون. يقيس المستوى الإلكتروني بالحركة عدة مرات، ويرسم خريطة محيطية ثلاثية الأبعاد لسطح المنصة للكشف عن أي نتوءات أو انخفاضات موضعية. على سبيل المثال، يُشترط أن تكون منصات الجرانيت المستخدمة في آلات الطباعة الضوئية شبه الموصلية ذات استواء ±0.5 ميكرومتر/متر، أي ألا يتجاوز فرق الارتفاع ضمن طول متر واحد نصف ميكرومتر. ولا يُمكن ضمان هذا المعيار الصارم إلا من خلال معدات كشف عالية الدقة.
2. اكتشاف الاستقامة: تأكد من "استقامة" الحركة الخطية
بالنسبة للمنصات التي تحمل أجزاء متحركة دقيقة، يُعدّ الاستقامة أمرًا بالغ الأهمية. ومن الطرق الشائعة للكشف طريقة السلك أو جهاز تحديد الاتجاه بالليزر. تتضمن طريقة السلك تعليق أسلاك فولاذية عالية الدقة ومقارنة الفجوة بين سطح المنصة والأسلاك الفولاذية لتحديد الاستقامة. يستخدم جهاز تحديد الاتجاه بالليزر خصائص الانتشار الخطي لليزر للكشف عن الخطأ الخطي في سطح تركيب سكة توجيه المنصة. إذا لم تُطابق الاستقامة المعيار، فسيؤدي ذلك إلى انزلاق المعدات أثناء الحركة، مما يؤثر على دقة المعالجة أو القياس.
3. الكشف عن خشونة السطح: تأكد من "دقة" التلامس
تؤثر خشونة سطح المنصة على ملاءمة تركيب المكونات. عادةً، يُستخدم جهاز قياس خشونة القلم أو المجهر الضوئي للكشف. يسجل الجهاز ذو القلم تغيرات ارتفاع المقطع المجهري عن طريق ملامسة سطح المنصة بمسبار دقيق. تستطيع المجاهر الضوئية مراقبة نسيج السطح مباشرةً. في التطبيقات عالية الدقة، يجب التحكم في خشونة سطح منصات الجرانيت عند قيمة Ra≤0.05 ميكرومتر، وهو ما يُعادل تأثير المرآة، مما يضمن إحكام تركيب المكونات الدقيقة أثناء التركيب وتجنب الاهتزاز أو الإزاحة الناتجة عن الفجوات.
معايير الدقة تتبع: المعايير الدولية والرقابة الداخلية للمؤسسة
حاليًا، تُستخدم معايير ISO 25178 وGB/T 24632 عالميًا بشكل شائع كأساس لتحديد دقة منصات الجرانيت، وهناك تصنيفات واضحة لمؤشرات مثل الاستواء والاستقامة. بالإضافة إلى ذلك، غالبًا ما تضع شركات التصنيع المتطورة معايير رقابة داخلية أكثر صرامة. على سبيل المثال، يتجاوز شرط الاستواء لمنصة الجرانيت في آلة الطباعة الضوئية المعيار الدولي بنسبة 30%. عند إجراء الاختبارات، يجب مقارنة البيانات المقاسة بالمعايير المقابلة. فقط المنصات التي تتوافق تمامًا مع المعايير هي التي تضمن أداءً مستقرًا في المعدات الدقيقة.
يُعد فحص دقة منصات الجرانيت الدقيقة مشروعًا منهجيًا. ولا يمكن ضمان دقة وموثوقية المنصة العالية إلا من خلال الاختبار الدقيق للمؤشرات الأساسية، مثل الاستواء والاستقامة وخشونة السطح، والالتزام بالمعايير الدولية والمعايير المؤسسية، مما يُرسي أساسًا متينًا لمجالات التصنيع المتطورة مثل أشباه الموصلات والأجهزة الدقيقة.
وقت النشر: ٢١ مايو ٢٠٢٥