الجرانيت مادة صلبة ومتينة تُستخدم بكثرة في قطاع البناء. كما أنها تتمتع بخصائص تجعلها مفيدة في صناعة أشباه الموصلات، وخاصة في تصنيع ومعالجة الدوائر المتكاملة. وتُستخدم مكونات الجرانيت، مثل طاولات الجرانيت وكتل الجرانيت، على نطاق واسع نظرًا لثباتها وسطحها المستوي ومعامل تمددها الحراري المنخفض.
يُعدّ استخدام الجرانيت في عملية تصنيع أشباه الموصلات أحد أهم استخداماته. فرقائق السيليكون، وهي اللبنات الأساسية للدوائر المتكاملة، تتطلب دقةً عاليةً في التصنيع. وأي تشوه أو حركة أثناء هذه العملية قد تؤدي إلى عيوب تؤثر على جودة الدوائر المتكاملة ووظائفها. توفر طاولات الجرانيت، بفضل ثباتها العالي واستوائها، منصةً مثاليةً لمعدات معالجة الرقائق. كما أنها مقاومة للتمدد والانكماش الحراري الناتج عن عمليات التسخين والتبريد اللازمة في هذه العملية.
تُستخدم كتل الجرانيت أيضًا في معالجة أشباه الموصلات نظرًا لثباتها الحراري. خلال عمليات الحفر أو الترسيب، تُستخدم الغازات الساخنة أو البلازما لتعديل سطح رقاقة السيليكون. من الضروري التحكم في درجة حرارة الرقاقة لضمان تنفيذ العملية بكفاءة ودقة. تساعد كتل الجرانيت، بمعامل تمددها الحراري المنخفض، على تثبيت درجة حرارة الرقاقة، مما يقلل من مخاطر تقلبات درجة الحرارة التي قد تؤثر على جودة المادة المُعالجة.
إلى جانب عمليات التصنيع والمعالجة، تُستخدم مكونات الجرانيت أيضًا في مراحل القياس والفحص في صناعة أشباه الموصلات. تُجرى قياسات القياس لضمان أن يكون حجم وشكل وموقع الهياكل على الرقاقة ضمن المواصفات المطلوبة. تُستخدم كتل الجرانيت كمعايير مرجعية في هذه القياسات نظرًا لثبات أبعادها ودقتها. كما تُستخدم أيضًا في مراحل الفحص، حيث يتم التحقق من جودة الدوائر المتكاملة تحت تكبير عالٍ.
بشكل عام، ازداد استخدام مكونات الجرانيت في صناعة أشباه الموصلات في السنوات الأخيرة. وقد دفع الاحتياج إلى الدقة العالية والثبات والاستقرار في تصنيع ومعالجة الدوائر المتكاملة إلى اعتماد هذه المواد من قبل مصنعي أشباه الموصلات. وتجعل الخصائص الفريدة للجرانيت، مثل صلابته وثباته وانخفاض معامل تمدده الحراري، منه خيارًا ممتازًا للاستخدام في هذه العمليات. ومع استمرار تطوير وتحسين تكنولوجيا أشباه الموصلات، من المتوقع أن ينمو استخدام مكونات الجرانيت بشكل أكبر في المستقبل.
تاريخ النشر: 5 ديسمبر 2023