الجرانيت مادة صلبة ومتينة تُستخدم بكثرة في قطاع البناء. كما يتميز بخصائص تجعله مفيدًا في تصنيع أشباه الموصلات، وخاصةً في تصنيع ومعالجة الدوائر المتكاملة. وتُستخدم مكونات الجرانيت، مثل طاولات الجرانيت وكتل الجرانيت، على نطاق واسع بفضل ثباتها واستوائها وانخفاض معامل تمددها الحراري.
من الاستخدامات الرئيسية لمكونات الجرانيت في تصنيع أشباه الموصلات عملية التصنيع. تتطلب رقائق السيليكون، وهي اللبنات الأساسية للدوائر المتكاملة، دقة عالية في التصنيع. أي تشوه أو حركة أثناء العملية قد تؤدي إلى عيوب قد تؤثر على جودة ووظائف الدوائر المتكاملة. تُوفر طاولات الجرانيت، بفضل ثباتها العالي واستوائها، منصة مثالية لمعدات معالجة الرقائق. كما أنها مقاومة للتمدد والانكماش الحراري الناتج عن التسخين والتبريد اللازمين في العملية.
تُستخدم كتل الجرانيت أيضًا في معالجة أشباه الموصلات نظرًا لاستقرارها الحراري. أثناء عمليات الحفر أو الترسيب، تُستخدم الغازات الساخنة أو البلازما لتعديل سطح رقاقة السيليكون. يجب التحكم في درجة حرارة الرقاقة لضمان تنفيذ العملية بكفاءة ودقة. تساعد كتل الجرانيت، بفضل معامل التمدد الحراري المنخفض لديها، على استقرار درجة حرارة الرقاقة، مما يقلل من خطر تقلبات درجات الحرارة التي قد تؤثر على جودة المادة المعالجة.
إلى جانب عمليات التصنيع والمعالجة، تُستخدم مكونات الجرانيت أيضًا في مراحل القياس والفحص في تصنيع أشباه الموصلات. تُجرى القياسات المترولوجية لضمان توافق حجم وشكل وموضع الهياكل على الرقاقة مع المواصفات المطلوبة. تُستخدم كتل الجرانيت كمعايير مرجعية في هذه القياسات نظرًا لثبات أبعادها ودقتها. كما تُستخدم في مراحل الفحص، حيث تُفحص جودة الدوائر المتكاملة تحت تكبير عالٍ.
بشكل عام، ازداد استخدام مكونات الجرانيت في تصنيع أشباه الموصلات في السنوات الأخيرة. وقد دفعت الحاجة إلى الدقة العالية والثبات والاستقرار في تصنيع ومعالجة الدوائر المتكاملة إلى اعتماد هذه المواد من قبل مصنعي أشباه الموصلات. إن خصائص الجرانيت الفريدة، مثل صلابته وثباته وانخفاض معامل تمدده الحراري، تجعله خيارًا ممتازًا للاستخدام في هذه العمليات. ومع استمرار تطوير وتحسين تكنولوجيا أشباه الموصلات، من المتوقع أن يزداد استخدام مكونات الجرانيت في المستقبل.
وقت النشر: 5 ديسمبر 2023