في أي أجهزة أشباه الموصلات، يتم استخدام سرير الجرانيت على نطاق واسع؟

يُعدّ الجرانيت مكونًا أساسيًا في مختلف أجهزة أشباه الموصلات. ونظرًا لثباته وصلابته العالية، يُستخدم الجرانيت على نطاق واسع كأساس لمعدات معالجة أشباه الموصلات. يتميز بمعامل تمدد حراري منخفض، وثبات أبعاد عالٍ، وخصائص ميكانيكية ممتازة. وبفضل هذه الخصائص، يُستخدم الجرانيت بشكل شائع في ثلاثة أنواع مختلفة من أجهزة أشباه الموصلات: معدات القياس، ومعدات الطباعة الحجرية، ومعدات الفحص.

تُستخدم معدات القياس لقياس وتحديد الأبعاد الحرجة لأجهزة أشباه الموصلات. وتلعب دورًا حاسمًا في الحفاظ على جودة واتساق عملية تصنيع أشباه الموصلات. تشمل معدات القياس أجهزة مثل المجاهر الضوئية، والمجاهر الإلكترونية، ومجاهر القوة الذرية (AFMs). ونظرًا لأن أداء هذه الأجهزة يعتمد على ثباتها ودقتها ومقاومتها للاهتزاز، يُعد الجرانيت الخيار الأمثل لمادة قاعدتها. يوفر اتساق قاعدة الجرانيت وثباتها قاعدةً ثابتةً للأجهزة، مما يعزز دقتها وموثوقيتها.

تُستخدم معدات الطباعة الحجرية لإنشاء أنماط الرقاقة الدقيقة على الرقاقة. تتطلب عملية الطباعة الحجرية دقةً عاليةً لإنشاء دوائر معقدة وتحسين أداء الرقاقة. تتضمن معدات الطباعة الحجرية أنظمةً للمحركات المتدرجة والماسحات الضوئية التي تستخدم الضوء لنقل الصور إلى الرقاقة. ونظرًا لحساسية عملية الطباعة الحجرية العالية للاهتزازات والتغيرات الحرارية، يُعدّ استخدام طبقة عالية الجودة أمرًا أساسيًا لضمان استقرار عملية الطباعة الحجرية وإمكانية تكرارها. توفر طبقات الجرانيت الثبات المطلوب والأداء الصارم في تخميد الاهتزازات لأنظمة الطباعة الحجرية. كما تسمح طبقة الجرانيت لنظام المحركات المتدرجة أو الماسحات الضوئية بالحفاظ على علاقات مكانية دقيقة، مما يضمن دقة عالية وجودة عالية للمنتج النهائي.

تُستخدم معدات الفحص للكشف عن أي عيوب في أجهزة أشباه الموصلات. وتشمل هذه المعدات أنظمة مثل مجاهر المسح الضوئي بالليزر، والمجاهر الإلكترونية، والمجاهر الضوئية. ونظرًا لضرورة أن تكون هذه الأجهزة عالية الدقة، ومستقرة، ومقاومة للاهتزازات، تُعدّ طبقات الجرانيت المادة المثالية. تساعد خصائص الجرانيت الميكانيكية وثباته البُعدي في عزل الاهتزازات، مما يُعزز دقة نتائج معدات الفحص.

في الختام، يُعدّ الجرانيت عنصرًا أساسيًا في صناعة أشباه الموصلات، ويُستخدم على نطاق واسع في مختلف أنواع المعدات. خصائصه الفريدة، مثل ثباته البُعدي، وانخفاض معامل التمدد الحراري، وثباته الميكانيكي الممتاز، تجعله الخيار الأمثل لفرش معدات أشباه الموصلات. ولأنّ فرش الجرانيت عالي الجودة يوفر الثبات والدقة ومقاومة الاهتزاز اللازمة لمعدات أشباه الموصلات، فإنه يُحسّن جودة المنتج النهائي. لذا، من المؤكد أن استخدام فرش الجرانيت في معدات أشباه الموصلات سيستمر لسنوات قادمة.