في صناعة أشباه الموصلات، يُعد فحص الرقاقة حلقة وصل رئيسية لضمان جودة وأداء الرقاقة، كما تلعب دقة واستقرار طاولة الفحص دورًا حاسمًا في نتائج الكشف. تُعدّ قاعدة الجرانيت، بخصائصها الفريدة، الخيار الأمثل لطاولة فحص رقائق أشباه الموصلات، حيث تُوفر لك التحليل متعدد الأبعاد.
أولاً، أبعاد ضمان الدقة
١. استقامة وتسطيح فائقان: قاعدة الجرانيت مُجهزة بتقنية معالجة متقدمة، ويمكن أن تصل دقة الاستقامة إلى ± 0.001 مم/م أو أعلى، كما تتميز باستقامة ممتازة. في عملية فحص الرقاقة، توفر الطبقة عالية الدقة دعمًا ثابتًا للرقاقة، وتضمن اتصالًا دقيقًا بين مسبار جهاز الفحص ومفاصل اللحام على سطح الرقاقة.
٢. معامل تمدد حراري منخفض جدًا: صناعة أشباه الموصلات حساسة لتغيرات درجة الحرارة، ومعامل التمدد الحراري للجرانيت منخفض للغاية، عادةً حوالي ٥×١٠⁻⁶/℃. عند تشغيل منصة الكشف، حتى مع تقلبات درجة الحرارة المحيطة، لا يتغير حجم قاعدة الجرانيت إلا قليلاً. على سبيل المثال، في ورشة عمل ذات درجات حرارة عالية في الصيف، قد تتسبب درجة حرارة منصة الكشف ذات القاعدة المعدنية الشائعة في تغيير الموضع النسبي للرقاقة ومعدات الكشف، مما يؤثر على دقة الكشف. تحافظ منصة الكشف ذات القاعدة الجرانيتية على استقرارها، وتضمن دقة الموضع النسبي للرقاقة ومعدات الكشف أثناء عملية الكشف، وتوفر بيئة مستقرة للكشف عالي الدقة.
ثانياً، بُعد الاستقرار
١. بنية مستقرة ومقاومة للاهتزازات: بعد ملايين السنين من العمليات الجيولوجية، يتميز الجرانيت ببنية داخلية كثيفة وموحدة. في البيئة المعقدة لمصانع أشباه الموصلات، تُخفف قاعدة الجرانيت الاهتزازات الناتجة عن تشغيل المعدات الطرفية وحركة الأفراد بفعالية.
٢. دقة الاستخدام طويل الأمد: مقارنةً بالمواد الأخرى، يتميز الجرانيت بصلابة عالية ومقاومة تآكل قوية، ويمكن أن تصل صلادته على مقياس موس إلى ٦-٧. سطح قاعدة الجرانيت لا يتآكل بسهولة أثناء عمليات تحميل وتفريغ وفحص الرقاقة المتكررة. وفقًا لإحصاءات الاستخدام الفعلي، يمكن الحفاظ على دقة الاستواء والاستقامة، باستخدام طاولة اختبار قاعدة الجرانيت، والتشغيل المستمر بعد ٥٠٠٠ ساعة، بأكثر من ٩٨٪ من الدقة الأولية، مما يقلل من تآكل القاعدة الناتج عن المعايرة والصيانة الدورية، ويقلل تكاليف تشغيل الأعمال، ويضمن استقرارًا طويل الأمد لأعمال الاختبار.
ثالثا، البعد النظيف والمضاد للتداخل
١. انخفاض إنتاج الغبار: يجب أن تكون بيئة تصنيع أشباه الموصلات نظيفة للغاية، كما أن مادة الجرانيت نفسها مستقرة ولا تُنتج جزيئات غبار بسهولة. أثناء تشغيل منصة الاختبار، يُمنع تلوث الرقاقة بالغبار الناتج عن القاعدة، مما يقلل من خطر حدوث قصر الدائرة الكهربائية وفتح الدائرة الكهربائية بسبب جزيئات الغبار. في منطقة فحص الرقاقة في ورشة العمل الخالية من الغبار، يتم التحكم دائمًا في تركيز الغبار حول طاولة فحص قاعدة الجرانيت إلى مستوى منخفض للغاية، مما يُلبي متطلبات النظافة الصارمة في صناعة أشباه الموصلات.
٢. عدم التداخل المغناطيسي: جهاز الكشف حساس للبيئة الكهرومغناطيسية، والجرانيت مادة غير مغناطيسية، مما يمنع تداخله مع الإشارة الإلكترونية لجهاز الكشف. عند استخدام كشف شعاع الإلكترون وتقنيات الاختبار الأخرى التي تتطلب بيئة كهرومغناطيسية عالية للغاية، تضمن قاعدة الجرانيت انتقالًا مستقرًا للإشارة الإلكترونية لجهاز الكشف، ودقة نتائج الاختبار. على سبيل المثال، عند اختبار أداء الرقاقة الكهربائي عالي الدقة، تتجنب قاعدة الجرانيت غير المغناطيسية التداخل مع إشارات التيار والجهد، مما يعكس بدقة الخصائص الكهربائية للرقاقة.
وقت النشر: 31 مارس 2025