تصنيع أشباه الموصلات: في عملية تصنيع الرقائق، تتطلب عملية الليثوغرافيا الضوئية نقل نمط الدائرة بدقة إلى الرقاقة. توفر قاعدة الجرانيت لوحدة الحركة فائقة الدقة العائمة الهوائية أحادية المحور تحديدًا دقيقًا للموضع ودعمًا ثابتًا لطاولة الرقاقة في معدات الطباعة الحجرية. على سبيل المثال، تستخدم ASML وغيرها من الشركات العالمية الرائدة في تصنيع آلات الطباعة الحجرية وحدات الحركة الهوائية العائمة ذات القاعدة الجرانيتية في معداتها المتطورة، والتي تتحكم بدقة تحديد موضع الرقاقة على مستوى النانومتر لضمان دقة نمط الطباعة الحجرية، مما يُحسّن تكامل الرقاقة وأدائها.
مجال القياس الدقيق: آلة الإحداثيات ثلاثية الأبعاد (CMM) هي جهاز قياس دقيق شائع الاستخدام في الإنتاج الصناعي، يُستخدم لقياس حجم وشكل ودقة موضع قطعة العمل. يمكن استخدام وحدة الحركة فائقة الدقة لعوامة الهواء أحادية المحور على قاعدة من الجرانيت كمنصة حركة لآلة الإحداثيات ثلاثية الأبعاد، مما يُحقق حركة خطية عالية الدقة ويوفر مسار حركة مستقرًا لمسبار القياس. على سبيل المثال، تستخدم آلة الإحداثيات ثلاثية الأبعاد المتطورة من Hexagon هذه التركيبة لقياس الأجزاء الكبيرة والمعقدة بدقة قياس تصل إلى مستوى الميكرون، مما يوفر ضمانًا قويًا لمراقبة جودة القطع في صناعات السيارات والفضاء وغيرها.
مجال الفضاء الجوي: في معالجة واختبار أجزاء الفضاء الجوي، تُعد الدقة العالية أمرًا ضروريًا. على سبيل المثال، يتطلب تشغيل شفرات محركات الطائرات تحكمًا دقيقًا في مسار حركة الأداة لضمان دقة شكل الشفرة. يمكن استخدام قاعدة الجرانيت لوحدة الحركة فائقة الدقة ذات التعويم الهوائي أحادي المحور في مركز التشغيل ذي الخمسة محاور والمعدات الأخرى لتوفير تحكم عالي الدقة في حركة الأداة وضمان تلبية دقة تشغيل الشفرة لمتطلبات التصميم. في الوقت نفسه، في عملية تجميع محرك الطائرة، من الضروري أيضًا استخدام معدات قياس عالية الدقة للتحقق من دقة تجميع الأجزاء. توفر وحدة الحركة الهوائية ذات القاعدة الجرانيتية دعمًا ثابتًا وحركة دقيقة لمعدات القياس لضمان جودة التجميع.
مجال الفحص البصري: في عملية تصنيع واختبار المكونات البصرية، من الضروري إجراء تحديد موضع وقياس عالي الدقة للمكونات البصرية. على سبيل المثال، عند تصنيع مكونات بصرية عالية الدقة مثل المرايا والعدسات، من الضروري استخدام مقاييس التداخل وغيرها من المعدات للكشف عن دقة شكل السطح. يمكن استخدام قاعدة الجرانيت لوحدة الحركة فائقة الدقة العائمة الهوائية أحادية المحور كمنصة حركة لمقياس التداخل، مما يحقق دقة تحديد موضع دون الميكرون ويوفر دعمًا دقيقًا للبيانات للكشف عن المكونات البصرية. بالإضافة إلى ذلك، في معدات معالجة الليزر، من الضروري أيضًا استخدام منصة حركة عالية الدقة للتحكم في مسار مسح شعاع الليزر، ويمكن لقاعدة الجرانيت لوحدة الحركة العائمة الهوائية تلبية هذا المطلب، لتحقيق معالجة ليزر عالية الدقة.
وقت النشر: ٧ أبريل ٢٠٢٥