الجرانيت مادة شائعة الاستخدام في صناعة أشباه الموصلات، وخاصةً في تصنيع المعدات الحساسة المستخدمة في إنتاج رقائق أشباه الموصلات. يتميز الجرانيت بخصائصه المتميزة، مثل الثبات العالي والصلابة وانخفاض معامل التمدد الحراري. ومع ذلك، يتطلب سطحه أيضًا معالجة خاصة ليكون مناسبًا للاستخدام في تصنيع معدات أشباه الموصلات.
تتضمن عملية معالجة سطح الجرانيت التلميع والطلاء. أولًا، تخضع قاعدة الجرانيت لعملية تلميع لضمان نعومتها وخلوها من أي مناطق خشنة أو مسامية. تساعد هذه العملية على منع تكوّن الجسيمات التي قد تلوث رقائق الكمبيوتر الحساسة. بعد تلميع الجرانيت، يُطلى بمادة مقاومة للمواد الكيميائية والتآكل.
تُعد عملية الطلاء بالغة الأهمية لضمان عدم انتقال الملوثات من سطح الجرانيت إلى الرقائق المُنتجة. تتضمن هذه العملية رش طبقة واقية من المواد على سطح الجرانيت المصقول. يوفر الطلاء حاجزًا بين سطح الجرانيت وأي مواد كيميائية أو ملوثات أخرى قد تلامسه.
من الجوانب المهمة الأخرى لمعالجة أسطح الجرانيت الصيانة الدورية. يجب تنظيف قاعدة الجرانيت بانتظام لمنع تراكم الغبار والأوساخ والملوثات الأخرى. إذا تُركت دون تنظيف، فقد تخدش الملوثات السطح، أو الأسوأ من ذلك، قد تلتصق بمعدات أشباه الموصلات، مما يؤثر على أدائها.
باختصار، يُعد الجرانيت مادة أساسية في صناعة أشباه الموصلات، وخاصةً في تصنيع معداتها. ومع ذلك، يتطلب سطحه معالجة خاصة، تشمل التلميع والطلاء، وصيانة دورية لمنع التلوث. عند معالجته بشكل صحيح، يوفر الجرانيت قاعدة مثالية لإنتاج رقائق أشباه موصلات عالية الجودة وخالية من التلوث أو العيوب.
وقت النشر: ٢٥ مارس ٢٠٢٤