♦ ألومينا (آل2O3)
يمكن تصنيع الأجزاء الخزفية الدقيقة التي تنتجها مجموعة تصنيع Zhonghui الذكية (ZHHIMG) من مواد خام من السيراميك عالية النقاء ، 92 ~ 97 ٪ من الألومينا ، 99.5 ٪ من الألومينا ،> 99.9 ٪ من الألومينا ، والضغط المتساوي البارد CIP. ارتفاع درجة الحرارة تلبيد وآلات الدقة ، دقة الأبعاد ± 0.001 مم ، نعومة تصل إلى RA0.1 ، تستخدم درجة حرارة تصل إلى 1600 درجة. يمكن إجراء ألوان مختلفة من السيراميك وفقًا لمتطلبات العملاء ، مثل: الأسود والأبيض والبيج والأحمر الداكن ، إلخ
تستخدم على نطاق واسع في مجموعة متنوعة من معدات إنتاج أشباه الموصلات: إطارات (شريحة سيراميك) ، الركيزة (قاعدة) ، ذراع/ جسر (مناور) ، المكونات الميكانيكية وتحمل الهواء السيراميك.
| اسم المنتج | عالي نقاء 99 أنبوب مربع السيراميك / الأنبوب / قضيب | |||||
| فِهرِس | وحدة | 85 ٪ AL2O3 | 95 ٪ AL2O3 | 99 ٪ AL2O3 | 99.5 ٪ AL2O3 | |
| كثافة | ز/سم 3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| امتصاص الماء | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| درجة الحرارة الملبدة | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| صلابة | موس | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| قوة الانحناء (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| قوة الضغط | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| درجة حرارة العمل لفترة طويلة | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| الأعلى. درجة حرارة العمل | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| مقاومة الحجم | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 | ||
تطبيق السيراميك ألومينا عالية النقاء:
1. تطبيق على معدات أشباه الموصلات: فراغ السيراميك ، قرص القطع ، قرص التنظيف ، تشاك الخزف.
2. أجزاء نقل الويفر: معالجة الرقاقة ، أقراص قطع الرقاقة ، أقراص تنظيف الويفر ، وأكواب شفط الفحص البصري.
3. صناعة عرض اللوحة المسطحة LED / LCD: فوهة سيراميك ، قرص طحن سيراميك ، دبوس المصعد ، سكة الدبوس.
4. الاتصالات البصرية ، الصناعة الشمسية: أنابيب السيراميك ، قضبان السيراميك ، شاشة لوحة الدائرة الطباعة الخزفية.
5. الأجزاء المقاومة للحرارة والعزل الكهربائي: محامل السيراميك.
في الوقت الحاضر ، يمكن تقسيم سيراميك أكسيد الألومنيوم إلى نقاء عالي والسيراميك المشترك. تشير سلسلة السيراميك ذات النقاء العالي إلى المواد السيراميكية التي تحتوي على أكثر من 99.9 ٪ al₂o₃. نظرًا لدرجة حرارة التلبد التي تصل إلى 1650 - 1990 درجة مئوية وطول موجة انتقالها من 1 ~ 6μm ، تتم معالجتها عادةً في زجاج تنصهر بدلاً من بوتقة البلاتين: والتي يمكن استخدامها كأنبوب الصوديوم بسبب انتقاله الخفيف ومقاومة التآكل للمعادن القلوية. في صناعة الإلكترونيات ، يمكن استخدامه كمواد عازلة التردد العالي لركائز IC. وفقًا لمحتويات مختلفة من أكسيد الألومنيوم ، يمكن تقسيم سلسلة سيراميك من أكسيد الألومنيوم الشائعة إلى 99 سيراميكًا و 95 سيراميكًا و 90 سيراميكًا و 85 سيراميكًا. في بعض الأحيان ، يتم تصنيف السيراميك مع 80 ٪ أو 75 ٪ من أكسيد الألومنيوم على أنه سلسلة من سيراميك أكسيد الألومنيوم الشائع. من بينها ، يتم استخدام 99 مادة سيراميك أكسيد الألومنيوم لإنتاج بوتقة عالية الحرارة ، أنبوب الفرن عازلة النيران والمواد الخاصة المقاومة للارتداء ، مثل محامل السيراميك والأختام السيراميك وألواح الصمام. 95 يستخدم السيراميك الألمنيوم بشكل أساسي كجزء مقاوم للارتداء المقاوم للتآكل. غالبًا ما يتم خلط السيراميك في بعض الخصائص ، وبالتالي تحسين الأداء الكهربائي والقوة الميكانيكية. يمكن أن تستخدم الموليبدينوم ، النيوبيوم ، التانتالوم وغيرها من الأختام المعدنية ، وبعضها يستخدم كأجهزة فراغ كهربائي.
| عنصر الجودة (القيمة التمثيلية) | اسم المنتج | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| التركيب الكيميائي المنتج المنخفض الصوديوم السهل تلبيد | h₂o | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| مضحك جداً | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| Sio₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| na₂o | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| mgo* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| قطر الجسيمات المتوسطة (MT-3300 ، طريقة تحليل الليزر) | μM | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α حجم البلورة | μM | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| تشكيل الكثافة ** | ز/سم | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| الكثافة الملبدة ** | ز/سم | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| تقلص معدل التلبد ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* لا يتم تضمين MGO في حساب نقاء al₂o₃.
* لا يوجد مسحوق تحجيم 29.4mPa (300 كجم/سمبع مربع) ، درجة حرارة التلبد هي 1600 درجة مئوية.
AES-11 / 11C / 11F: أضف 0.05 ~ 0.1 ٪ MGO ، قابلية التلبد ممتازة ، لذلك ينطبق على سيراميك أكسيد الألومنيوم مع نقاء أكثر من 99 ٪.
AES-22S: تتميز بكثافة تشكيل عالية وانخفاض معدل تقلص خط التلبد ، فهو ينطبق على صب النماذج والمنتجات الأخرى على نطاق واسع مع دقة الأبعاد المطلوبة.
AES-23 / AES-31-03: لها كثافة تشكيل أعلى ، ثسيط التربط واللزوجة المنخفضة من AES-22s. يتم استخدام الأول في السيراميك بينما يتم استخدام الأخير كخفض للمياه لمواد عزل النيران ، واكتسب شعبية.
♦ خصائص كربيد السيليكون (SIC)
| الخصائص العامة | نقاء المكونات الرئيسية (بالوزن) | 97 | |
| لون | أسود | ||
| الكثافة (ز/سم) | 3.1 | ||
| امتصاص الماء (٪) | 0 | ||
| الخصائص الميكانيكية | قوة الانثناء (MPA) | 400 | |
| المعامل الشاب (GPA) | 400 | ||
| فيكرز صلابة (GPA) | 20 | ||
| الخصائص الحرارية | الحد الأقصى لدرجة حرارة التشغيل (درجة مئوية) | 1600 | |
| معامل التمدد الحراري | RT ~ 500 درجة مئوية | 3.9 | |
| (1/° C × 10-6) | RT ~ 800 درجة مئوية | 4.3 | |
| الموصلية الحرارية (W/M X K) | 130 110 | ||
| مقاومة الصدمة الحرارية ΔT (درجة مئوية) | 300 | ||
| الخصائص الكهربائية | مقاومة الحجم | 25 درجة مئوية | 3 × 106 |
| 300 درجة مئوية | - | ||
| 500 درجة مئوية | - | ||
| 800 درجة مئوية | - | ||
| ثابت العزل الكهربائي | 10 جيجا هرتز | - | |
| فقدان العزل الكهربائي (x 10-4) | - | ||
| Q Factor (x 104) | - | ||
| جهد انهيار العزل الكهربائي (كيلو فولت/مم) | - | ||
♦ السيليكون نيتريد السيراميك
| مادة | وحدة | si₃n₄ |
| طريقة تلبد | - | ضغط الغاز الملبد |
| كثافة | ز/سم | 3.22 |
| لون | - | رمادي داكن |
| معدل امتصاص المياه | % | 0 |
| معامل الشباب | GPA | 290 |
| فيكرز صلابة | GPA | 18 - 20 |
| قوة الضغط | MPA | 2200 |
| قوة الانحناء | MPA | 650 |
| الموصلية الحرارية | ث/م | 25 |
| مقاومة الصدمة الحرارية | Δ (° C) | 450 - 650 |
| أقصى درجة حرارة التشغيل | درجة مئوية | 1200 |
| مقاومة الحجم | ω · سم | > 10 ^ 14 |
| ثابت العزل الكهربائي | - | 8.2 |
| القوة العازلة | kv/mm | 16 |