المراحل الخطية العمودية عبارة عن أجهزة تحديد موضع Z مزودة بمحركات دقيقة تُستخدم لنقل المكونات أو العينات بدقة في اتجاه المحور Z.تُستخدم هذه المراحل بشكل شائع في مجموعة متنوعة من التطبيقات، بما في ذلك الفحص المجهري وتكنولوجيا النانو وتصنيع أشباه الموصلات...
اقرأ أكثر