مجال تطبيق وحدة الحركة فائقة الدقة أحادية المحور العائمة بالهواء باستخدام قاعدة من الجرانيت.

تصنيع أشباه الموصلات: في عملية تصنيع الرقائق، تتطلب عملية الطباعة الضوئية نقل نمط الدائرة بدقة متناهية إلى الرقاقة. توفر القاعدة الجرانيتية لوحدة الحركة فائقة الدقة أحادية المحور العائمة بالهواء تحديدًا دقيقًا للموقع ودعمًا ثابتًا لطاولة الرقاقة في معدات الطباعة الضوئية. على سبيل المثال، تستخدم شركة ASML وغيرها من الشركات العالمية الرائدة في تصنيع آلات الطباعة الضوئية وحدات حركة عائمة بالهواء ذات قاعدة جرانيتية في معداتها المتطورة، مما يتيح التحكم بدقة تحديد موقع الرقاقة على مستوى النانومتر لضمان دقة نمط الطباعة الضوئية، وبالتالي تحسين تكامل الرقاقة وأدائها.
مجال القياس الدقيق: تُعدّ آلة قياس الإحداثيات ثلاثية الأبعاد (CMM) من معدات القياس الدقيق الشائعة الاستخدام في الإنتاج الصناعي، حيث تُستخدم لقياس حجم وشكل وموضع قطعة العمل بدقة متناهية. ويمكن استخدام وحدة الحركة فائقة الدقة ذات المحور الواحد العائم على قاعدة من الجرانيت كمنصة حركة لآلة قياس الإحداثيات ثلاثية الأبعاد، مما يُتيح حركة خطية عالية الدقة ويوفر مسار حركة ثابتًا لمسبار القياس. فعلى سبيل المثال، تستخدم آلة قياس الإحداثيات ثلاثية الأبعاد المتطورة من شركة هيكساغون هذا المزيج لقياس الأجزاء الكبيرة والمعقدة بدقة تصل إلى مستوى الميكرون، مما يوفر ضمانًا قويًا لمراقبة جودة الأجزاء في صناعات السيارات والفضاء وغيرها.
في مجال صناعة الطيران والفضاء: تتطلب عمليات تصنيع واختبار أجزاء الطائرات والفضاء دقة عالية. فعلى سبيل المثال، تتطلب عملية تصنيع شفرات محركات الطائرات تحكمًا دقيقًا في مسار حركة الأداة لضمان دقة شكل الشفرة. يمكن استخدام قاعدة الجرانيت لوحدة الحركة فائقة الدقة أحادية المحور ذات التعويم الهوائي مع مراكز التصنيع خماسية المحاور وغيرها من المعدات لتوفير تحكم دقيق في حركة الأداة وضمان دقة تصنيع الشفرة بما يتوافق مع متطلبات التصميم. في الوقت نفسه، في عملية تجميع محرك الطائرة، من الضروري أيضًا استخدام معدات قياس عالية الدقة للتحقق من دقة تجميع الأجزاء. توفر وحدة الحركة ذات التعويم الهوائي ذات القاعدة الجرانيتية دعمًا ثابتًا وحركة دقيقة لمعدات القياس لضمان جودة التجميع.
مجال الفحص البصري: في عملية تصنيع واختبار المكونات البصرية، من الضروري إجراء تحديد مواقع وقياسات عالية الدقة لهذه المكونات. على سبيل المثال، عند تصنيع مكونات بصرية عالية الدقة كالمرايا والعدسات، يلزم استخدام مقاييس التداخل وغيرها من المعدات للكشف عن دقة شكل السطح. يمكن استخدام القاعدة الجرانيتية لوحدة الحركة فائقة الدقة أحادية المحور العائمة بالهواء كمنصة حركة لمقياس التداخل، مما يتيح تحقيق دقة تحديد مواقع دون الميكرون وتوفير بيانات دقيقة لدعم عملية الكشف عن المكونات البصرية. بالإضافة إلى ذلك، في معدات المعالجة بالليزر، من الضروري أيضًا استخدام منصة حركة عالية الدقة للتحكم في مسار مسح شعاع الليزر، وتلبي القاعدة الجرانيتية لوحدة الحركة العائمة بالهواء هذا المطلب، مما يتيح إجراء معالجة ليزرية عالية الدقة.