تعمل صناعة أشباه الموصلات بدقة تتجاوز حدود الإبداع البشري. وفي صميم مراقبة الجودة في هذه الصناعة - وهي الخطوة الأخيرة الحاسمة قبل اعتبار الشريحة جاهزة للتسويق - تكمن مادة تبدو بسيطة: الجرانيت. وعلى وجه التحديد، تُعد منصات الجرانيت الدقيقة الحل الأمثل لفحص شرائح أشباه الموصلات، وهي حقيقة قد تُفاجئ غير المتخصصين في هذا المجال. في مجموعة ZHONGHUI (ZHHIMG®)، نفهم هذه العلاقة جيدًا. وقد جعلتنا خبرتنا في تصنيع مكونات الجرانيت فائقة الدقة وأدوات القياس شريكًا رئيسيًا لبعض شركات أشباه الموصلات والقياس الرائدة عالميًا. إن الاعتماد على الجرانيت في هذا التطبيق الحساس ليس مسألة تقليدية، بل مسألة فيزياء وهندسة بحتة. يتعلق الأمر بتلبية مجموعة من المتطلبات الفريدة والصعبة التي لا يمكن لأي مادة أخرى تلبيتها بنفس الفعالية.
الطلب الثابت على الاستقرار
لا يقتصر فحص شرائح أشباه الموصلات على فحص العيوب فحسب، بل يشمل أيضًا التأكد من اكتمال تكوين السمات المجهرية، التي تُقاس غالبًا بالنانومتر. تتضمن هذه العملية معدات متطورة، مثل أنظمة الفحص البصري (AOI) وأجهزة التصوير المقطعي المحوسب الصناعية، والتي يجب أن تبقى مستقرة تمامًا أثناء الفحص. أي اهتزاز أو تمدد حراري أو انحراف هيكلي قد يُسبب أخطاءً، مما يؤدي إلى نتائج إيجابية خاطئة، أو ما هو أسوأ من ذلك، عدم اكتشاف العيوب.
هنا يتألق الجرانيت. فعلى عكس المعدن الذي يتمدد وينكمش بشكل ملحوظ مع تغيرات درجة الحرارة، يتميز الجرانيت بمعامل تمدد حراري منخفض للغاية. تبلغ كثافة جرانيت ZHHIMG® الأسود حوالي 3100 كجم/م3، مما يوفر ثباتًا حراريًا استثنائيًا. هذا يعني أن منصة الجرانيت ستحافظ على شكلها واستواءها حتى في البيئات التي تتقلب فيها درجة الحرارة المحيطة بشكل طفيف. في ورشة عمل مُكيّفة مثل منشأتنا التي تبلغ مساحتها 10,000 متر مربع، حيث يتم الحفاظ على درجة الحرارة بدقة عسكرية، يتمتع الجرانيت بثبات لا مثيل له.
علاوة على ذلك، تُعدّ خصائص التخميد الفائقة للجرانيت أساسية. فهو يمتصّ الاهتزازات الميكانيكية ويبدّدها بشكل طبيعي، مانعًا انتقالها إلى معدات الفحص الدقيقة. في مصنعٍ مزدحمٍ بالآلات، يُعدّ تخميد الاهتزازات هذا أمرًا بالغ الأهمية للحفاظ على دقة القياس. صُمّمت ورش عملنا مع مراعاة هذا الأمر، حيث تتميز بأرضيات خرسانية فائقة السماكة وخنادق مضادة للاهتزازات لخلق بيئة تُمكّن حرفيّينا من تحقيق دقةٍ تفوق النانومتر في عملهم.
السعي لتحقيق التسطيح المطلق
لكي يعمل نظام فحص الرقائق، يجب أن تكون قاعدته أقرب ما يكون إلى الاستواء التام. مفهوم "السطح المستوي" في هذا السياق ليس بصريًا، بل رياضي، يُقاس بأدوات مثل مقاييس التداخل الليزرية من رينيشو ومقاييس سويس وايلر الإلكترونية. يهدف فاحص الرقائق إلى قياس استواء الشريحة إلى بضعة ميكرونات، أو حتى نانومترات. ولتحقيق ذلك، يجب أن تكون المنصة نفسها أكثر استواءً بكثير.
الجرانيت مادة يُمكن طحنها، من خلال تقنيات الصقل اليدوي المتخصصة لدينا، إلى مستوى تسطيح لا مثيل له تقريبًا. يتمتع حرفيونا المهرة، الذين يتمتع العديد منهم بخبرة تزيد عن 30 عامًا، بحاسة لمسية تُمكّنهم من "الشعور" بانحراف تسطيح لا يتجاوز بضعة ميكرونات. هذه اللمسة البشرية، إلى جانب معداتنا عالمية المستوى، تُمكّننا من إنتاج ألواح سطحية من الجرانيت بتسطيح نانومتري، مما يجعلها المستوى المرجعي الأمثل للمعايرة والفحص. هذا هو الأساس الذي يُبنى عليه فحص أشباه الموصلات بدقة.
معالجة المتطلبات الفريدة لصناعة أشباه الموصلات
لصناعة أشباه الموصلات أيضًا احتياجات خاصة تتجاوز الثبات والانبساط. على سبيل المثال، تستخدم العديد من أنظمة الفحص محامل هوائية لضمان حركة سلسة. يُعد الجرانيت وسطًا ممتازًا لمسارات توجيه محامل الهواء بفضل صلابته الطبيعية ومساميته التي تسمح بتدفق هواء ناعم ومتساوٍ. محامل الهواء الجرانيتية لدينا مُصممة خصيصًا لضمان حركة سلسة ودقيقة، وهو أمر أساسي للفحص عالي السرعة والدقة.
علاوة على ذلك، يتميز جرانيت ZHHIMG® الأسود الخاص بنا بأنه غير مغناطيسي وغير موصل، وهو أمر بالغ الأهمية للمكونات الإلكترونية الحساسة. فهو لا يتداخل مع المجالات الكهرومغناطيسية لمعدات الاختبار أو الشريحة نفسها. وهذه الحيادية ميزة لا توفرها العديد من المنصات المعدنية.
في ZHHIMG®، لا نبيع الجرانيت فحسب، بل نوفر أساسًا أساسيًا لأحدث التقنيات في العالم. التزامنا تجاه عملائنا هو توفير حلول خالية من الغش والتضليل. نعمل بشكل وثيق مع شركائنا، بما في ذلك شركات عملاقة مثل سامسونج ومؤسسات القياس، لضمان أن منتجاتنا لا تلبي مواصفاتهم فحسب، بل تساهم أيضًا في تطوير تقنياتهم. في مجال تصنيع أشباه الموصلات عالي المخاطر، تُعد منصات الجرانيت الدقيقة من ZHHIMG® قوةً ثابتةً وصامدةً، توفر الاستقرار والدقة اللازمين لتجسيد ابتكارات الغد.
وقت النشر: ٢٨ سبتمبر ٢٠٢٥